工藝設(shè)備安裝&調(diào)試請找兆德(南通)電子科技有限公司。

兆德電子是由多名半導(dǎo)體專業(yè)人士牽頭組建，有豐富的從工藝設(shè)備安裝&調(diào)試、設(shè)備搬遷及人員管理等方面的經(jīng)驗(yàn)。熟悉各類半導(dǎo)體設(shè)備拆解、包裝、運(yùn)輸、存儲、安裝、調(diào)試等各個(gè)環(huán)節(jié)，承接半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)業(yè)務(wù)。

半導(dǎo)體設(shè)備包含光刻、擴(kuò)散、注入、濕法、干刻、薄膜、濺射、背蒸、減薄等區(qū)域設(shè)備。

(1)設(shè)備關(guān)機(jī);

a)軟件關(guān)閉：確保Stage、robot home position Double check valve closed;

b)硬體關(guān)閉：手動(dòng)閥門的關(guān)閉。Facility管道、閥門的斷開;

(2)設(shè)備拆機(jī);

a) Facility： PV、電、氣斷開。并做相應(yīng)記錄。包括管徑、流量、電壓、電流數(shù)據(jù)

b)易碎品拆除并作安全打包移機(jī)記錄;可活動(dòng)stage、部件的相應(yīng)固定。

c)機(jī)臺分離： I/0數(shù)據(jù)線mark后斷開;分離前機(jī)臺mark;

d)適用油壓板車與千斤頂對機(jī)臺分離工作進(jìn)行緩沖，以確保機(jī)臺在拆機(jī)過程中不受任何外力影響;

(3)設(shè)備移機(jī);

a )新區(qū)域marking：業(yè)主提供設(shè)備生產(chǎn)線新區(qū)域起始點(diǎn)我司進(jìn)行所有機(jī)臺相應(yīng)中心、邊框?qū)?zhǔn)線

b )動(dòng)線確認(rèn)：與業(yè)主溝通確定設(shè)備在MOVE過程中之動(dòng)線;并做PVC板鋪墊對機(jī)臺移機(jī)地板進(jìn)行保護(hù)

c)機(jī)臺MOVE順序：優(yōu)先原則確定

d )安全：避免機(jī)臺在移機(jī)過程中由于人為造成之震動(dòng)、撞擊等損害;所有工程人員應(yīng)守廠區(qū)施工行為規(guī)范

(4)設(shè)備安裝;

a )機(jī)臺初定位：按照地面marking

b )機(jī)臺精確定位：水平與位置精確調(diào)整

c )機(jī)臺內(nèi)部連線：I/O線、電源線連接

d )機(jī)臺內(nèi)部拆除件組裝：易碎品部件安裝

(5)設(shè)備調(diào)試;

a)確認(rèn)facility條件滿足：PV CDA PN2以及電源連接并確認(rèn)

b )開機(jī)：硬件電源開啟、操作系統(tǒng)開啟;確認(rèn)氣動(dòng)閥門、電磁閥門開關(guān)正常;sensor、Interlock正常;

c )ROBOT/STAGE match 包括正常歸位，進(jìn)、出片位置正常;精度達(dá)標(biāo)。

d )流片測試：按正常生產(chǎn)進(jìn)行run貨。

兆德（南通）電子科技有限公司是專業(yè)的工藝設(shè)備安裝&調(diào)試廠家，期待與您的合作。